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                技術(shù)文章Article 首 頁 > 技術(shù)文章 > inficon熱電離真空計 ATM 至超高真空雙規(guī) BPG552
                inficon熱電離真空計 ATM 至超高真空雙規(guī) BPG552
                點擊次數(shù):927 更新時間:2024-03-19
                 

                inficon熱電離真空計 ATM 至超高真空雙規(guī) BPG552 

                 

                inficon熱電離真空計BPG552技術(shù)特點:

                對于需要測量范圍從 UHV (5 x10 -10 ) ATM (1000 mbar) 的應(yīng)用,Trigon™ 系列包括雙技術(shù) BPG552 儀表。BPG552 Bayard-Alpert 熱電離傳感器元件和經(jīng)典、堅固且可靠的 Pirani 傳感器元件組成。支持的 Bayard-Alpert 雙燈絲提供的精度、可重復(fù)性和使用壽命。

                inficon熱電離真空計BPG552優(yōu)點

                ü 雙量規(guī)(2 個傳感元件)可實現(xiàn)寬測量范圍、降低成本并節(jié)省空間

                ü Bayard-Alpert 系統(tǒng)的 2 根燈絲

                ü 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)以避免燈絲過早燒毀

                ü 自動高真空皮拉尼調(diào)節(jié)減少了操作員干預(yù)

                ü 電隔離電子器件以避免雜散電流

                ü 滑動排放模式可避免切換排放流時壓力跳躍和凍結(jié)

                ü 由于可拆卸校準(zhǔn)數(shù)據(jù)芯片,可烘烤性更長

                ü 設(shè)定點繼電器

                ü 明亮、大尺寸 OLED 顯示屏(可 90° 旋轉(zhuǎn)),帶用戶界面

                ü 模擬輸出、RS232C串行接口、EtherCAT®

                ü 可與 VGC50x 控制器系列結(jié)合使用

                ü 向后兼容 BPG402

                ü RoHS 合規(guī)性

                inficon熱電離真空計BPG552典型應(yīng)用

                · 半導(dǎo)體工藝中的壓力測量

                · 工業(yè)涂料

                · 低至真空范圍系統(tǒng)的一般真空測量和控制

                inficon熱電離真空計BPG552規(guī)格

                測量范圍(空氣、O 2CON 2  5×10 -10 … 1000 毫巴

                準(zhǔn)確性  

                1×10 -8 … 1×10 -2毫巴       ±15 讀數(shù)

                1 x 10 -2毫巴 … 1000 毫巴     讀數(shù)的±30%

                重復(fù)性:讀數(shù)的 5%10 -8 … 10 -2 mbar(穩(wěn)定 10 分鐘后)

                暴露于真空的材料 不銹鋼、NiFe、鍍鎳、哈氏合金、玻璃、銥、氧化釔 (Y2O3)Ni、鎢

                inficon熱電離真空計BPG552備件零件號 描述

                354-420   BPG552 備用傳感器頭,KF25

                354-421     BPG552 備用傳感器頭,CF40


                 
                聯(lián)系方式
                • 86-411-87187730

                  18804209403

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