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                產(chǎn)品目錄Products

                技術(shù)文章Article 首 頁 > 技術(shù)文章 > 加熱式電容膜片真空計EdgeTM CDG100D2
                加熱式電容膜片真空計EdgeTM CDG100D2
                點擊次數(shù):161 更新時間:2024-11-19
                 


                加熱式電容膜片真空計EdgeTM CDG100D2

                 

                 

                 

                INFICON  Edge電容膜片真空計是專為惡劣制造環(huán)境設(shè)計

                的高精度真空測量儀器。成熟的控溫、防腐蝕、超純陶瓷

                傳感器能長期提供出眾的量程穩(wěn)定性,而且具有

                的霧位穩(wěn)定性。Edge 隨附INFICON 已獲傳感

                器屏蔽,用于保護真空計,使其免受不需要的過程副產(chǎn)品

                的影響。先進的電子元件能為所有應用提供范圍廣泛的可

                配置信號調(diào)節(jié),另外還有EtherCAT 現(xiàn)場總線接口可供選

                擇。創(chuàng)新的加熱概念能夠使接觸表面保持低溫,并節(jié)約寶

                貴的工具空間。INFICON  Edge是同類產(chǎn)品中最小的真空

                測量儀器。

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                優(yōu)勢

                ·緊湊型,節(jié)省寶貴的工具空間

                ·易于集成, EtherCAT,  各種滿刻度和法蘭,標配兩個

                設(shè)定點

                ·輕松一鍵調(diào)零或遠程信號調(diào)零指令,可調(diào)零點偏移

                ·診斷端口用于快速維修和維護

                ·兩年保修服務,先進的加熱概念和真空計保護延長了使

                用壽命

                ·信號穩(wěn)定性和可重復性,即使是最嚴苛的等離子

                應用,都無需長期執(zhí)行重新校準

                ·合規(guī)和標準: CE、EN、UL、SEMI、RoHS

                應用范圍

                ·CVD、 蝕刻、PVD 及其他半導體生產(chǎn)過程

                 

                EdgeTM CDG100D2

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                image.png 

                1)    優(yōu)化的壓力控制信號濾波器設(shè)置

                2)  不能使用現(xiàn)場總線接口

                粗體=標準產(chǎn)品

                其他法蘭類型可按要求提供。

                 


                 

                EdgeTM CDG100D2

                 


                image.png規(guī)格

                 

                 

                 

                 

                 

                 

                 

                 

                 

                 

                 

                 

                 

                 

                 

                 

                 

                 

                 

                1) 在25°℃環(huán)境運行溫度下表現(xiàn)為非線性、滯后、再現(xiàn)性,運行兩小時后無溫度效應

                2) 環(huán)境溫度>40°℃,可能會使表面溫度高于SEMI S2合規(guī)水平—標記“小心燙傷!"

                3) 增加10.…90% FS

                4) 18%Cr、10%Ni、3%Mo、69%Fe

                 

                 

                 


                 

                EdgeTM CDG100D2

                 

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                EdgeTM CDG100D2

                 

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                聯(lián)系方式
                • 86-411-87187730

                  18804209403

                在線客服
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